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Realization of AlGaAs antidot arrays by pulsed laser interference gratings

DOI zum Zitieren dieses Dokuments:
10.5283/epub.10839
Nebel, C. N. ; Rogg, J. ; Kelly, M. K. ; Dahlheimer, B. ; Rother, M. ; Bichler, Max ; Wegscheider, Werner ; Stutzmann, M.
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Veröffentlichungsdatum dieses Volltextes: 02 Nov 2009 13:22


Zusammenfassung

AlGaAs antidot arrays with about 107 antidots are produced by single-shot interference processing with a pulsed high-power Nd:YAG laser system. We apply magnetotransport experiments and atomic force microscopy (AFM) to explore the electronic and geometric properties of the arrays. The size of the antidot arrays are 3 mm × 3 mm and the period varies from 400 to 1000 nm. The dots are elliptic or ...

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