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Quantum wires and quantum dots defined by lithography with an atomic force microscope

Lüscher, S. und Fuhrer, A. und Held, R. und Heinzel, Thomas und Ensslin, Klaus und Bichler, Max und Wegscheider, Werner (2002) Quantum wires and quantum dots defined by lithography with an atomic force microscope. Microelectronics Journal 33 (4), S. 319-321.

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Zusammenfassung

Semiconductor nanostructures are realized by patterning AlGaAs/GaAs heterostructures with an atomic force microscope. Steep potential walls, precise pattern transfer and a combination of in-plane and top gates can be achieved with this technique. The electronic properties of nanostructures defined in this way are discussed on two examples, namely a quantum point contact and a single electron ...

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Dokumentenart:Artikel
Datum:April 2002
Institutionen:Physik > Institut für Experimentelle und Angewandte Physik > Entpflichtete oder im Ruhestand befindliche Professoren > Arbeitsgruppe Werner Wegscheider
Identifikationsnummer:
WertTyp
10.1016/S0026-2692(01)00125-2DOI
Stichwörter / Keywords:Atomic force microscope; Nanostructures; Lithography
Dewey-Dezimal-Klassifikation:500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik
Status:Veröffentlicht
Begutachtet:Unbekannt / Keine Angabe
An der Universität Regensburg entstanden:Unbekannt / Keine Angabe
Eingebracht am:07 Dez 2009 13:19
Zuletzt geändert:13 Mrz 2014 12:15
Dokumenten-ID:11312
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