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Nanometre spaced electrodes on a cleaved AlGaAs surface

Luber, Sebastian M. und Strobel, Sebastian und Tranitz, Hans-Peter und Wegscheider, Werner und Schuh, Dieter und Tornow, Marc (2005) Nanometre spaced electrodes on a cleaved AlGaAs surface. Nanotechnology 16 (8), S. 1182-1185.

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Zusammenfassung

We present a novel technique for fabricating nanometre spaced metal electrodes on a smooth crystal cleavage plane with precisely predetermined spacing. Our method does not require any high-resolution nanolithography tools, all lateral patterning being based on conventional optical lithography. Using molecular beam epitaxy we embedded a thin gallium arsenide (GaAs) layer in between two aluminium ...

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Dokumentenart:Artikel
Datum:August 2005
Institutionen:Physik > Institut für Experimentelle und Angewandte Physik > Entpflichtete oder im Ruhestand befindliche Professoren > Arbeitsgruppe Werner Wegscheider
Identifikationsnummer:
WertTyp
10.1088/0957-4484/16/8/034DOI
Dewey-Dezimal-Klassifikation:500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik
Status:Veröffentlicht
Begutachtet:Unbekannt / Keine Angabe
An der Universität Regensburg entstanden:Unbekannt / Keine Angabe
Eingebracht am:11 Jan 2010 13:35
Zuletzt geändert:13 Mrz 2014 12:23
Dokumenten-ID:11963
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