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Extensions of non-negative matrix factorization and their application to the analysis of wafer test data

URN zum Zitieren dieses Dokuments: urn:nbn:de:bvb:355-epub-150585

Schachtner, Reinhard (2010) Extensions of non-negative matrix factorization and their application to the analysis of wafer test data. Dissertation, Universität Regensburg.

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Zusammenfassung (Englisch)

This PhD thesis investigates the data analysis technique named non-negative matrix factorization (NMF) and its applicability for failure analysis in microchip production. A blind source separation approach is pursued in which the observable wafer test data is interpreted as the result of a superposition of several simultaneously acting and not directly observable failure causes. This thesis was ...

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Übersetzung der Zusammenfassung (Deutsch)

Die vorliegende Dissertation untersucht das Datenanalyseverfahren der nicht-negativen Matrixfaktorisierung (NMF) und deren Anwendbarkeit zur Fehleranalyse in der Mikrochipproduktion. Dabei wird ein Ansatz zur blinden Quellentrennung verfolgt, bei dem beobachtete Wafertestdaten als Ergebnis der Überlagerung von mehreren gleichzeitig agierenden, nicht direkt beobachtbaren Fehlerquellen ...

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Dokumentenart:Hochschulschrift der Universität Regensburg (Dissertation)
Datum:4 August 2010
Begutachter (Erstgutachter):Prof. Dr. Elmar W. Lang und Prof. Dr. Ingo Morgenstern
Tag der Prüfung:23 April 2010
Institutionen:Biologie und Vorklinische Medizin > Institut für Biophysik und physikalische Biochemie > Prof. Dr. Elmar Lang
Themenverbund:Nicht ausgewählt
Stichwörter / Keywords:non-negative matrix factorization, NMF, wafer test data, uniqueness, Bayesian, binary NMF
Dewey-Dezimal-Klassifikation:500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik
Status:Veröffentlicht
Begutachtet:Ja, diese Version wurde begutachtet
An der Universität Regensburg entstanden:Ja
Eingebracht am:04 Aug 2010 13:37
Zuletzt geändert:13 Mrz 2014 13:52
Dokumenten-ID:15058
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