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Neural network models for error classification and manufacturing yield forecast

Schels, A. und Leim, D. und Lang, Elmar (2002) Neural network models for error classification and manufacturing yield forecast. In: Proc. of Int. Conf. Modelling and Analysis of Semiconductor Manufacturing (MASM), Tempe, Arizona, 2002. , S. 296-301.

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Dokumentenart:Buchkapitel
Datum:2002
Institutionen:Biologie und Vorklinische Medizin > Institut für Biophysik und physikalische Biochemie > Prof. Dr. Elmar Lang
Dewey-Dezimal-Klassifikation:500 Naturwissenschaften und Mathematik > 570 Biowissenschaften, Biologie
Status:Veröffentlicht
Begutachtet:Unbekannt / Keine Angabe
An der Universität Regensburg entstanden:Unbekannt / Keine Angabe
Eingebracht am:20 Okt 2010 06:13
Zuletzt geändert:20 Okt 2010 06:13
Dokumenten-ID:17363
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