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PCA and ICA analysis of process control data obtained during si-wafer manufacturing

Ganslmeier, B. und Schels, A. und Lang, Elmar W. (2000) PCA and ICA analysis of process control data obtained during si-wafer manufacturing. In: Hamza, M. H., (ed.) Signal processing and communications: proceedings of the IASTED international conference (SPC), September 19 - 22, 2000, Marbella, Spain. IASTED/Acta Press, Anaheim, S. 72-77. ISBN 0-88986-302-4.

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Bibliographische Daten exportieren



Dokumentenart:Buchkapitel
Datum:2000
Zusätzliche Informationen (Öffentlich):Tagungsort auf Titelblatt irrtümlich als "Marabella" angegeben
Institutionen:Biologie und Vorklinische Medizin > Institut für Biophysik und physikalische Biochemie > Prof. Dr. Elmar Lang
Dewey-Dezimal-Klassifikation:500 Naturwissenschaften und Mathematik > 570 Biowissenschaften, Biologie
Status:Veröffentlicht
Begutachtet:Unbekannt / Keine Angabe
An der Universität Regensburg entstanden:Unbekannt / Keine Angabe
Eingebracht am:20 Okt 2010 06:32
Zuletzt geändert:20 Okt 2010 06:32
Dokumenten-ID:17373
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