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Doping behaviour of implanted magnesium in silicon

Sigmund, H. und Weiss, Dieter (1983) Doping behaviour of implanted magnesium in silicon. In: Ryssel, H., (ed.) Ion Implantation: Equipment and Techniques; proceedings of the 4. Internat. Conference Berchtesgaden, Fed. Rep. of Germany, Sept. 13-17, 1982. Springer Series in Electrophysics, 11. Springer, Berlin, S. 473-480. ISBN 3-540-12491-8, 0-387-12491-8.

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Dokumentenart:Buchkapitel
Datum:1983
Institutionen:Physik > Institut für Experimentelle und Angewandte Physik > Lehrstuhl Professor Weiss > Arbeitsgruppe Dieter Weiss
Dewey-Dezimal-Klassifikation:500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik
Status:Veröffentlicht
Begutachtet:Ja, diese Version wurde begutachtet
An der Universität Regensburg entstanden:Unbekannt / Keine Angabe
Eingebracht am:25 Mai 2009 13:19
Zuletzt geändert:13 Mrz 2014 16:51
Dokumenten-ID:7847
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