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Fabrication and Characterization of Deep Mesa Echted "Anti"-dot Superlattices in GaAs-AlGaAs Heterostructures

Weiss, Dieter und Grambow, P. und Klitzing, Klaus von und Menschig, A. und Weimann, G. (1991) Fabrication and Characterization of Deep Mesa Echted "Anti"-dot Superlattices in GaAs-AlGaAs Heterostructures. Applied Physics Letters 58, S. 2960-2963.

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Andere URL zum Volltext: http://link.aip.org/link/APPLAB/v58/i25/p2960/s1, http://scitation.aip.org/apl/


Zusammenfassung

By etching a periodic array of holes through a ;mobility two-dimensional electron gas we define high-a lateral, ``anti\'\'-dot-type superlattice with periods a=200 and a=300 nm, much smaller than the electron mean free path in the unpatterned material. The devices are fabricated using electron beam lithography and reactive ion etching techniques, and characterized by magnetotransport ...

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Dokumentenart:Artikel
Datum:1991
Institutionen:Physik > Institut für Experimentelle und Angewandte Physik > Lehrstuhl Professor Weiss > Arbeitsgruppe Dieter Weiss
Klassifikation:
NotationArt
73.21.-bPACS
73.50.JtPACS
73.61.EyPACS
Dewey-Dezimal-Klassifikation:500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik
Status:Veröffentlicht
Begutachtet:Ja, diese Version wurde begutachtet
An der Universität Regensburg entstanden:Unbekannt / Keine Angabe
Eingebracht am:25 Mai 2009 13:19
Zuletzt geändert:13 Mrz 2014 18:09
Dokumenten-ID:7862
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