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Planar Hall sensors for micro-Hall-magnetometry

Rahm, M und Raabe, Jörg und Pulwey, Ralph und Biberger, Josef und Meier, C und Wegscheider, Werner und Weiss, Dieter (2002) Planar Hall sensors for micro-Hall-magnetometry. Journal of Applied Physics 91, S. 7980.

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Zusammenfassung

In this work we present a new method to fabricate planar Hall sensors from GaAs– AlGaAs heterojunctions, which can be used to examine the local stray field at a specific section of a micron-sized magnet. Instead of mesa etching we implanted oxygen ions with an energy of 1.5 keV which deplete the two- dimensional electron gas underneath the exposed areas but leave the wafer flat. Planar ...

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Dokumentenart:Artikel
Datum:2002
Institutionen:Physik > Institut für Experimentelle und Angewandte Physik > Lehrstuhl Professor Weiss > Arbeitsgruppe Dieter Weiss
Dewey-Dezimal-Klassifikation:500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik
Status:Veröffentlicht
Begutachtet:Ja, diese Version wurde begutachtet
An der Universität Regensburg entstanden:Ja
Eingebracht am:25 Mai 2009 13:20
Zuletzt geändert:09 Dez 2009 04:04
Dokumenten-ID:7914
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