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Fabrication of large periodic arrays of AlGaAs microdisks by laser-interference lithography and selective etching

Petter, K. und Kipp, T. und Heitmann, Detlef und Heyn, Ch. und Schüller, Christian (2002) Fabrication of large periodic arrays of AlGaAs microdisks by laser-interference lithography and selective etching. Applied Physics Letters 81 (4; 3 S), S. 592.

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Zusammenfassung

By laser-interference lithography, reactive-ion etching, and selective wet-chemical etching using a citric acid-based solution, we have fabricated large periodic arrays of AlGaAs microdisks with periods of 4 µm and disk diameters between 1.5 and 2 µm. The arrays are characterized by temperature-dependent photoluminescence spectroscopy. Taking into account the below-threshold absorption of the ...

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Dokumentenart:Artikel
Datum:24 Mai 2002
Institutionen:Physik > Institut für Experimentelle und Angewandte Physik > Lehrstuhl Professor Lupton > Arbeitsgruppe Christian Schüller
Identifikationsnummer:
WertTyp
10.1063/1.1495082DOI
Dewey-Dezimal-Klassifikation:500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik
Status:Veröffentlicht
Begutachtet:Unbekannt / Keine Angabe
An der Universität Regensburg entstanden:Unbekannt / Keine Angabe
Eingebracht am:21 Sep 2009 07:18
Zuletzt geändert:13 Mrz 2014 11:01
Dokumenten-ID:9497
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