Sigmund, H. und Weiss, Dieter
(1983)
Doping behaviour of implanted magnesium in silicon.
In: Ryssel, H., (ed.)
Ion Implantation: Equipment and Techniques; proceedings of the 4. Internat. Conference Berchtesgaden, Fed. Rep. of Germany, Sept. 13-17, 1982.
Springer Series in Electrophysics, 11.
Springer, Berlin, S. 473-480.
ISBN 3-540-12491-8, 0-387-12491-8.
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