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Held, R. ; Vancura, T. ; Heinzel, Thomas ; Ensslin, Klaus ; Holland, M. ; Wegscheider, Werner

In-plane gates and nanostructures fabricated by direct oxidation of semiconductor heterostructures with an atomic force microscope

Held, R., Vancura, T., Heinzel, Thomas, Ensslin, Klaus, Holland, M. und Wegscheider, Werner (1998) In-plane gates and nanostructures fabricated by direct oxidation of semiconductor heterostructures with an atomic force microscope. Applied Physics Letters 73 (2), S. 262-264.

Veröffentlichungsdatum dieses Volltextes: 09 Nov 2009 13:17
Artikel
DOI zum Zitieren dieses Dokuments: 10.5283/epub.10881


Zusammenfassung

The surface of shallow Ga[Al]As heterostructures is locally oxidized with an atomic force microscope. The electron gas underneath the oxide is depleted. We demonstrate experimentally that these depleted regions of the two-dimensional electron gas can be made highly resistive at liquid nitrogen temperatures. Thus, local anodic oxidation of high electron mobility transistors with an atomic force ...

The surface of shallow Ga[Al]As heterostructures is locally oxidized with an atomic force microscope. The electron gas underneath the oxide is depleted. We demonstrate experimentally that these depleted regions of the two-dimensional electron gas can be made highly resistive at liquid nitrogen temperatures. Thus, local anodic oxidation of high electron mobility transistors with an atomic force microscope provides a novel method to define nanostructures and in-plane gates. Two examples, namely antidots and quantum point contacts as in-plane gate transistors have been fabricated and their performance at low temperatures is discussed.



Beteiligte Einrichtungen


Details

DokumentenartArtikel
Titel eines Journals oder einer ZeitschriftApplied Physics Letters
Verlag:American Institute of Physics
Band:73
Nummer des Zeitschriftenheftes oder des Kapitels:2
Seitenbereich:S. 262-264
Datum13 Juli 1998
InstitutionenPhysik > Institut für Experimentelle und Angewandte Physik > Entpflichtete oder im Ruhestand befindliche Professoren > Arbeitsgruppe Werner Wegscheider
Identifikationsnummer
WertTyp
10.1063/1.121774DOI
Verwandte URLs
URLURL Typ
http://link.aip.org/link/?APPLAB/73/262/1Verlag
Dewey-Dezimal-Klassifikation500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik
StatusVeröffentlicht
BegutachtetUnbekannt / Keine Angabe
An der Universität Regensburg entstandenUnbekannt / Keine Angabe
Dokumenten-ID10881

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