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Rogge, M. C. ; Fühner, C. ; Keyser, U. F. ; Haug, R. J. ; Bichler, Max ; Abstreiter, Gerhard ; Wegscheider, Werner

Combined atomic force microscope and electron-beam lithography used for the fabrication of variable-coupling quantum dots

Artikel

Rogge, M. C., Fühner, C., Keyser, U. F. , Haug, R. J. , Bichler, Max, Abstreiter, Gerhard und Wegscheider, Werner (2003) Combined atomic force microscope and electron-beam lithography used for the fabrication of variable-coupling quantum dots. Applied Physics Letters 83 (6), S. 1163-1165.

DOI zum Zitieren dieses Dokuments: 10.5283/epub.11353


Zusammenfassung

We have combined direct nanofabrication by local anodic oxidation with conventional electron-beam lithography to produce a parallel double quantum dot based on a GaAs/AlGaAs heterostructure. The combination of both nanolithography methods allows fabrication of robust in-plane gates and Cr/Au top-gate electrodes on the same device for optimal controllability. This is illustrated by the tunability ...

We have combined direct nanofabrication by local anodic oxidation with conventional electron-beam lithography to produce a parallel double quantum dot based on a GaAs/AlGaAs heterostructure. The combination of both nanolithography methods allows fabrication of robust in-plane gates and Cr/Au top-gate electrodes on the same device for optimal controllability. This is illustrated by the tunability of the interdot coupling in our device. We describe our fabrication and alignment scheme in detail and demonstrate the tunability in low-temperature transport measurements. (C) 2003 American Institute of Physics.



Beteiligte Einrichtungen


Details

DokumentenartArtikel
Titel eines Journals oder einer ZeitschriftApplied Physics Letters
VerlagAMER INST PHYSICS
Ort der VeröffentlichungMELVILLE
Band83
Nummer des Zeitschriftenheftes oder des Kapitels6
SeitenbereichS. 1163-1165
Datum11 August 2003
Veröffentlichungsdatum14 Dez 2009 13:20
InstitutionenPhysik > Institut für Experimentelle und Angewandte Physik > Entpflichtete oder im Ruhestand befindliche Professoren > Arbeitsgruppe Werner Wegscheider
Identifikationsnummer
WertTyp
10.1063/1.1599972DOI
Verwandte URLs
URLURL Typ
http://link.aip.org/link/?APPLAB/83/1163/1Verlag
Klassifikation
NotationArt
81.16.Nd; 81.16.Ta; 81.07.Ta; 81.05.Ea; 68.47.Fg; 68.65.Hb; 85.40.Hp; 81.65.MqPACS
Stichwörter / KeywordsCOULOMB-BLOCKADE; TRANSISTOR; OXIDATION; TRANSPORT; CHANNEL;
Dewey-Dezimal-Klassifikation500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik
StatusVeröffentlicht
BegutachtetUnbekannt / Keine Angabe
An der Universität Regensburg entstandenUnbekannt / Keine Angabe
Dokumenten-ID11353

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