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Combined atomic force microscope and electron-beam lithography used for the fabrication of variable-coupling quantum dots
Rogge, M. C., Fühner, C., Keyser, U. F.
, Haug, R. J.
, Bichler, Max, Abstreiter, Gerhard und Wegscheider, Werner
(2003)
Combined atomic force microscope and electron-beam lithography used for the fabrication of variable-coupling quantum dots.
Applied Physics Letters 83 (6), S. 1163-1165.
Veröffentlichungsdatum dieses Volltextes: 14 Dez 2009 13:20
Artikel
DOI zum Zitieren dieses Dokuments: 10.5283/epub.11353
Zusammenfassung
We have combined direct nanofabrication by local anodic oxidation with conventional electron-beam lithography to produce a parallel double quantum dot based on a GaAs/AlGaAs heterostructure. The combination of both nanolithography methods allows fabrication of robust in-plane gates and Cr/Au top-gate electrodes on the same device for optimal controllability. This is illustrated by the tunability ...
We have combined direct nanofabrication by local anodic oxidation with conventional electron-beam lithography to produce a parallel double quantum dot based on a GaAs/AlGaAs heterostructure. The combination of both nanolithography methods allows fabrication of robust in-plane gates and Cr/Au top-gate electrodes on the same device for optimal controllability. This is illustrated by the tunability of the interdot coupling in our device. We describe our fabrication and alignment scheme in detail and demonstrate the tunability in low-temperature transport measurements. (C) 2003 American Institute of Physics.
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Beteiligte Einrichtungen
Details
| Dokumentenart | Artikel | ||||
| Titel eines Journals oder einer Zeitschrift | Applied Physics Letters | ||||
| Verlag: | AMER INST PHYSICS | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| Ort der Veröffentlichung: | MELVILLE | ||||
| Band: | 83 | ||||
| Nummer des Zeitschriftenheftes oder des Kapitels: | 6 | ||||
| Seitenbereich: | S. 1163-1165 | ||||
| Datum | 11 August 2003 | ||||
| Institutionen | Physik > Institut für Experimentelle und Angewandte Physik > Entpflichtete oder im Ruhestand befindliche Professoren > Arbeitsgruppe Werner Wegscheider | ||||
| Identifikationsnummer |
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| Verwandte URLs |
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| Klassifikation |
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| Stichwörter / Keywords | COULOMB-BLOCKADE; TRANSISTOR; OXIDATION; TRANSPORT; CHANNEL; | ||||
| Dewey-Dezimal-Klassifikation | 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik | ||||
| Status | Veröffentlicht | ||||
| Begutachtet | Unbekannt / Keine Angabe | ||||
| An der Universität Regensburg entstanden | Unbekannt / Keine Angabe | ||||
| Dokumenten-ID | 11353 |
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