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Extensions of non-negative matrix factorization and their application to the analysis of wafer test data

URN to cite this document:
urn:nbn:de:bvb:355-epub-150585
Schachtner, Reinhard
Date of publication of this fulltext: 04 Aug 2010 13:37


Abstract (English)

This PhD thesis investigates the data analysis technique named non-negative matrix factorization (NMF) and its applicability for failure analysis in microchip production. A blind source separation approach is pursued in which the observable wafer test data is interpreted as the result of a superposition of several simultaneously acting and not directly observable failure causes. This thesis was ...

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Translation of the abstract (German)

Die vorliegende Dissertation untersucht das Datenanalyseverfahren der nicht-negativen Matrixfaktorisierung (NMF) und deren Anwendbarkeit zur Fehleranalyse in der Mikrochipproduktion. Dabei wird ein Ansatz zur blinden Quellentrennung verfolgt, bei dem beobachtete Wafertestdaten als Ergebnis der Überlagerung von mehreren gleichzeitig agierenden, nicht direkt beobachtbaren Fehlerquellen ...

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