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Mel’nikov, M. Yu. ; Khrapai, V. S. ; Schuh, D.

Formation of nanostructures in a heterojunction with a deeply located 2D electron gas via the method of high-voltage anodic-oxidation lithography using an atomic-force microscope

Mel’nikov, M. Yu., Khrapai, V. S. und Schuh, D. (2008) Formation of nanostructures in a heterojunction with a deeply located 2D electron gas via the method of high-voltage anodic-oxidation lithography using an atomic-force microscope. Instruments and Experimental Techniques 51 (4), S. 617-624.

Veröffentlichungsdatum dieses Volltextes: 19 Dez 2024 13:15
Artikel



Beteiligte Einrichtungen


Details

DokumentenartArtikel
Titel eines Journals oder einer ZeitschriftInstruments and Experimental Techniques
Verlag:MAIK NAUKA/INTERPERIODICA/SPRINGER
Ort der Veröffentlichung:NEW YORK
Band:51
Nummer des Zeitschriftenheftes oder des Kapitels:4
Seitenbereich:S. 617-624
Datum2008
InstitutionenPhysik > Institut für Experimentelle und Angewandte Physik > Lehrstuhl Professor Huber > Arbeitsgruppe Rupert Huber
Identifikationsnummer
WertTyp
10.1134/S0020441208040209DOI
Stichwörter / KeywordsSCANNED PROBE OXIDATION; FABRICATION; SILICON; GAAS; TRANSISTOR; AFM;
Dewey-Dezimal-Klassifikation500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik
StatusVeröffentlicht
BegutachtetJa, diese Version wurde begutachtet
An der Universität Regensburg entstandenJa
Dokumenten-ID68014

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