Oxide thickness mapping of ultrathin Al2O3 at nanometer scale with conducting atomic force microscopy
Artikel
Olbrich, Alexander, Ebersberger, Bernd, Boit, Christian, Vancea, Johann, Hoffmann, Horst, Altmann, Hans, Gieres, Guenther und Wecker, Joachim (2001) Oxide thickness mapping of ultrathin Al2O3 at nanometer scale with conducting atomic force microscopy. Applied Physics Letters 78 (19), S. 2934-2936.Alternative Links zum Volltext
Beteiligte Einrichtungen
Details
| Dokumentenart | Artikel | ||||
| Titel eines Journals oder einer Zeitschrift | Applied Physics Letters | ||||
| Verlag | AMER INST PHYSICS | ||||
| Ort der Veröffentlichung | MELVILLE | ||||
| Band | 78 | ||||
| Nummer des Zeitschriftenheftes oder des Kapitels | 19 | ||||
| Seitenbereich | S. 2934-2936 | ||||
| Datum | 2001 | ||||
| Veröffentlichungsdatum | 19 Dez 2024 15:51 | ||||
| Institutionen | Physik > Institut für Experimentelle und Angewandte Physik | ||||
| Identifikationsnummer |
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| Stichwörter / Keywords | ; | ||||
| Dewey-Dezimal-Klassifikation | 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik | ||||
| Status | Veröffentlicht | ||||
| Begutachtet | Ja, diese Version wurde begutachtet | ||||
| An der Universität Regensburg entstanden | Ja | ||||
| Dokumenten-ID | 73664 |
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