Startseite UB

Beiträge zum ferroelektrischen Transistor und zu dessen Integration in nicht-flüchtige Speicher

URN to cite this document: urn:nbn:de:bvb:355-opus-5282

Haneder, Thomas (2005) Beiträge zum ferroelektrischen Transistor und zu dessen Integration in nicht-flüchtige Speicher. PhD, Universität Regensburg

[img]
Preview
License: Publishing license for publications excluding print on demand
PDF
Download (8MB)

Abstract (German)

Ferroelektrische Transistoren gelten als viel versprechende Bauelemente im Hinblick auf die Entwicklung neuer, nicht-flüchtiger mikroelektronischer Speicher. In dieser Arbeit werden Möglichkeiten zum Bau solcher Transistoren und daraus bestehender Speicher untersucht. Behandelt werden insbesondere Fragen des Transistoraufbaus, der Materialauswahl, der Herstellung und Charakterisierung, aber auch ...

plus

Translation of the abstract (English)

The ferroelectric field effect transistor is considered a promising candidate for future non-volatile memories in microelectronics. In this work we investigate different possibilities for building a ferroelectric transistor and memory cells composed of such transistors. Special emphasis is put on transistor gate stack design, materials to be used, processing and characterization of gate stacks, ...

plus


Export bibliographical data

Item Type:Thesis of the University of Regensburg (PhD)
Date:6 July 2005
Referee:Henning (Prof. Dr.) von Philipsborn
Date of exam:28 June 2005
Institutions:Physics
Classification:
NotationType
77.80.-ePACS
85.30.�zPACS
85.30.TvPACS
Keywords:Feldeffekttransistor , MOS-FET , Ferroelektrizität , Integration <Mikroelektronik> , Mikroelektronik , Speicherzelle , Statischer Speicher , Speicherelement , Nichtflüchtiger Speicher , RAM , Integrierte Speicherschaltung , Speicher <Informatik> , MFIS-FET , SBT , CeO2 , ferroelektrischer Transistor , MFIS-FET , SBT , CeO2 , ferroelectric transistor
Subjects:500 Science > 530 Physics
Status:Published
Refereed:Yes, this version has been refereed
Created at the University of Regensburg:Yes
Owner: Universitätsbibliothek Regensburg
Deposited On:27 Oct 2009 06:59
Last Modified:13 Mar 2014 11:29
Item ID:10321
Owner Only: item control page
  1. University

University Library

Publication Server

Contact person
Gernot Deinzer

Telefon 0941 943-2759
Contact