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Lüscher, S. ; Fuhrer, A. ; Held, R. ; Heinzel, Thomas ; Ensslin, Klaus ; Bichler, Max ; Wegscheider, Werner

Quantum wires and quantum dots defined by lithography with an atomic force microscope

Lüscher, S., Fuhrer, A., Held, R., Heinzel, Thomas, Ensslin, Klaus, Bichler, Max und Wegscheider, Werner (2002) Quantum wires and quantum dots defined by lithography with an atomic force microscope. Microelectronics Journal 33 (4), S. 319-321.

Veröffentlichungsdatum dieses Volltextes: 07 Dez 2009 13:19
Artikel
DOI zum Zitieren dieses Dokuments: 10.5283/epub.11312


Zusammenfassung

Semiconductor nanostructures are realized by patterning AlGaAs/GaAs heterostructures with an atomic force microscope. Steep potential walls, precise pattern transfer and a combination of in-plane and top gates can be achieved with this technique. The electronic properties of nanostructures defined in this way are discussed on two examples, namely a quantum point contact and a single electron ...

Semiconductor nanostructures are realized by patterning AlGaAs/GaAs heterostructures with an atomic force microscope. Steep potential walls, precise pattern transfer and a combination of in-plane and top gates can be achieved with this technique. The electronic properties of nanostructures defined in this way are discussed on two examples, namely a quantum point contact and a single electron transistor. For the quantum point contact we demonstrate quantized conductance at temperatures of 4 K and above. This indicates the strong confinement energy in this system. For the single electron transistor, the realization of special potential shapes and the observation of high-quality Coulomb blockade is shown.



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Details

DokumentenartArtikel
Titel eines Journals oder einer ZeitschriftMicroelectronics Journal
Verlag:Elsevier
Band:33
Nummer des Zeitschriftenheftes oder des Kapitels:4
Seitenbereich:S. 319-321
DatumApril 2002
InstitutionenPhysik > Institut für Experimentelle und Angewandte Physik > Entpflichtete oder im Ruhestand befindliche Professoren > Arbeitsgruppe Werner Wegscheider
Identifikationsnummer
WertTyp
10.1016/S0026-2692(01)00125-2DOI
Stichwörter / KeywordsAtomic force microscope; Nanostructures; Lithography
Dewey-Dezimal-Klassifikation500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik
StatusVeröffentlicht
BegutachtetUnbekannt / Keine Angabe
An der Universität Regensburg entstandenUnbekannt / Keine Angabe
Dokumenten-ID11312

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