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Rahm, Michael ; Raabe, Jörg ; Pulwey, Ralph ; Biberger, Josef ; Wegscheider, Werner ; Weiss, Dieter ; Meier, C.

Planar Hall sensors for micro-Hall magnetometry

Rahm, Michael, Raabe, Jörg, Pulwey, Ralph, Biberger, Josef, Wegscheider, Werner, Weiss, Dieter und Meier, C. (2002) Planar Hall sensors for micro-Hall magnetometry. Journal of Applied Physics 91 (10), S. 7980.

Veröffentlichungsdatum dieses Volltextes: 07 Dez 2009 13:28
Artikel
DOI zum Zitieren dieses Dokuments: 10.5283/epub.11320


Zusammenfassung

In this work we present a new method to fabricate planar Hall sensors from GaAs–AlGaAs heterojunctions, which can be used to examine the local stray field at a specific section of a micron-sized magnet. Instead of mesa etching we implanted oxygen ions with an energy of 1.5 keV which deplete the two-dimensional electron gas underneath the exposed areas but leave the wafer flat. Planar double Hall ...

In this work we present a new method to fabricate planar Hall sensors from GaAs–AlGaAs heterojunctions, which can be used to examine the local stray field at a specific section of a micron-sized magnet. Instead of mesa etching we implanted oxygen ions with an energy of 1.5 keV which deplete the two-dimensional electron gas underneath the exposed areas but leave the wafer flat. Planar double Hall cross devices were employed to investigate 30 nm thick electroplated Ni rings with outer and inner diameters ranging from 1.2 to 2 µm and from 0.3 to 1.6 µm, respectively. By comparing the signals from both Hall crosses of the sensor, we can distinguish between local stray field variations and changes of the global magnetization pattern. A hysteresis loop measured at a temperature of 110 K suggests that magnetization reversal occurs via a magnetic vortex structure.



Beteiligte Einrichtungen


Details

DokumentenartArtikel
Titel eines Journals oder einer ZeitschriftJournal of Applied Physics
Verlag:American Institute of Physics
Band:91
Nummer des Zeitschriftenheftes oder des Kapitels:10
Seitenbereich:S. 7980
Datum15 Mai 2002
InstitutionenPhysik > Institut für Experimentelle und Angewandte Physik > Entpflichtete oder im Ruhestand befindliche Professoren > Arbeitsgruppe Werner Wegscheider
Identifikationsnummer
WertTyp
10.1063/1.1453338DOI
Verwandte URLs
URLURL Typ
http://link.aip.org/link/?JAPIAU/91/7980/1Verlag
Klassifikation
NotationArt
07.55.Ge; 07.55.Jg; 75.50.Cc; 75.50.Tt; 75.60.Jk; 61.72.Ww; 61.80.Jh;PACS
Stichwörter / Keywordsgallium arsenide, aluminium compounds, III-V semiconductors, semiconductor heterojunctions, Hall effect, magnetometers, magnetic field measurement, magnetisation reversal, oxygen, ion implantation, two-dimensional electron gas, Hall effect devices, nickel, magnetic particles, ferromagnetic materials
Dewey-Dezimal-Klassifikation500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik
StatusVeröffentlicht
BegutachtetUnbekannt / Keine Angabe
An der Universität Regensburg entstandenUnbekannt / Keine Angabe
Dokumenten-ID11320

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