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Ertl, F. ; Asperger, T. ; Deutschmann, R. A. ; Wegscheider, Werner ; Bichler, Max ; Böhm, G. ; Abstreiter, Gerhard

Vertical field effect transistors realized by cleaved-edge overgrowth

Ertl, F., Asperger, T., Deutschmann, R. A., Wegscheider, Werner, Bichler, Max, Böhm, G. und Abstreiter, Gerhard (2002) Vertical field effect transistors realized by cleaved-edge overgrowth. Physica E Low-dimensional Systems and Nanostructures 13 (2-4), S. 920-924.

Veröffentlichungsdatum dieses Volltextes: 07 Dez 2009 13:29
Artikel
DOI zum Zitieren dieses Dokuments: 10.5283/epub.11324


Zusammenfassung

We present a brief survey of vertical transistor devices fabricated by the cleaved-edge overgrowth technique. Different device types are realized using different transistor substrates grown by molecular beam epitaxy. These substrates mainly vary in the layer sequence and thickness between the source/drain contacts. Common to all designs is the vertical gate structure overgrown on a cleavage plane ...

We present a brief survey of vertical transistor devices fabricated by the cleaved-edge overgrowth technique. Different device types are realized using different transistor substrates grown by molecular beam epitaxy. These substrates mainly vary in the layer sequence and thickness between the source/drain contacts. Common to all designs is the vertical gate structure overgrown on a cleavage plane of the substrates. By biasing the gate a two-dimensional electron system of tunable density is induced between source/drain. We study the DC transport properties of long channel (source–drain distance not, vert, similar1 μm) as well as short-channel (source–drain distance not, vert, similar50 nm) devices. Also the choice of the source/drain isolation (a superlattice or a p+-δ-doping or a heterobarrier) affects the characteristic device behavior.



Beteiligte Einrichtungen


Details

DokumentenartArtikel
Titel eines Journals oder einer ZeitschriftPhysica E Low-dimensional Systems and Nanostructures
Verlag:Elsevier
Band:13
Nummer des Zeitschriftenheftes oder des Kapitels:2-4
Seitenbereich:S. 920-924
DatumMärz 2002
InstitutionenPhysik > Institut für Experimentelle und Angewandte Physik > Entpflichtete oder im Ruhestand befindliche Professoren > Arbeitsgruppe Werner Wegscheider
Identifikationsnummer
WertTyp
10.1016/S1386-9477(02)00235-7DOI
Klassifikation
NotationArt
81.16.−c; 85.35.−p; 73.63.−bPACS
Stichwörter / KeywordsCleaved-edge overgrowth; Vertical transistor; DC transport
Dewey-Dezimal-Klassifikation500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik
StatusVeröffentlicht
BegutachtetUnbekannt / Keine Angabe
An der Universität Regensburg entstandenUnbekannt / Keine Angabe
Dokumenten-ID11324

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