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Heinzel, Thomas ; Lüscher, Silvia ; Fuhrer, Andreas ; Salis, Gian ; Held, Ryan ; Ensslin, Klaus ; Wegscheider, Werner

Nano-oxidation of semiconductor heterostructures with atomic force microscopes: technology and applications

Buchkapitel

Heinzel, Thomas, Lüscher, Silvia, Fuhrer, Andreas, Salis, Gian, Held, Ryan, Ensslin, Klaus und Wegscheider, Werner (2000) Nano-oxidation of semiconductor heterostructures with atomic force microscopes: technology and applications. In: Andrews, David L. und Asakura, Toshimitsu und Jutamulia, Suganda und Kirk, Wiley P. und Lagally, Max G. und Lal, Ravindra B. und Trolinger, James D., (eds.) Optical devices and diagnostics in materials science: 1-4 August2000, San Diego, USA. SPIE proceedings series, 4098. Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers, Bellingham, Washington, S. 52. ISBN 0-8194-3743-3.



Beteiligte Einrichtungen


Details

DokumentenartBuchkapitel
ISBN0-8194-3743-3
Buchtitel:Optical devices and diagnostics in materials science: 1-4 August2000, San Diego, USA
VerlagSociety of Photo-Optical Instrumentation Engineers
Ort der VeröffentlichungBellingham, Washington
Sonstige Reihe:SPIE proceedings series
Band4098
SeitenbereichS. 52
Datum2000
Veröffentlichungsdatum08 Feb 2010 13:20
InstitutionenPhysik > Institut für Experimentelle und Angewandte Physik > Entpflichtete oder im Ruhestand befindliche Professoren > Arbeitsgruppe Werner Wegscheider
Identifikationsnummer
WertTyp
10.1117/12.401643DOI
Dewey-Dezimal-Klassifikation500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik
StatusVeröffentlicht
BegutachtetUnbekannt / Keine Angabe
An der Universität Regensburg entstandenUnbekannt / Keine Angabe
Dokumenten-ID12740

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