PDF (499kB) - Nur für Mitarbeiter des Archivs |
- DOI zum Zitieren dieses Dokuments:
- 10.5283/epub.1470
Zusammenfassung
We present measurements on nanoelectromechanical systems fabricated in semiconductor materials suited for operating frequencies in the radio band. We demonstrate how to achieve parametric frequency tuning of nanoelectromechanical resonators required for radio frequency sensor and communication applications.
Nur für Besitzer und Autoren: Kontrollseite des Eintrags