Neural network models for error classification and manufacturing yield forecast

Buchkapitel

Schels, A., Leim, D. und Lang, Elmar (2002) Neural network models for error classification and manufacturing yield forecast. In: Proc. of Int. Conf. Modelling and Analysis of Semiconductor Manufacturing (MASM), Tempe, Arizona, 2002. , S. 296-301.

---

Beteiligte Einrichtungen

• Biologie und Vorklinische Medizin > Institut für Biophysik und physikalische Biochemie > Prof. Dr. Elmar Lang

  Browse Publikationen

---

Details

Dokumentenart	Buchkapitel
Buchtitel:	Proc. of Int. Conf. Modelling and Analysis of Semiconductor Manufacturing (MASM), Tempe, Arizona, 2002
Seitenbereich	S. 296-301
Datum	2002
Veröffentlichungsdatum	20 Okt 2010 06:13
Institutionen	Biologie und Vorklinische Medizin > Institut für Biophysik und physikalische Biochemie > Prof. Dr. Elmar Lang
Dewey-Dezimal-Klassifikation	500 Naturwissenschaften und Mathematik > 570 Biowissenschaften, Biologie
Status	Veröffentlicht
Begutachtet	Unbekannt / Keine Angabe
An der Universität Regensburg entstanden	Unbekannt / Keine Angabe
Dokumenten-ID	17363

Bibliographische Daten exportieren

ASCII CitationAtomBibTeXData Cite XMLDataCite XML OAIDublin CoreDublin Core (LZV)EndNoteHTML CitationJSONJSON LDMETSMODSOPENAIREOpenAPCRDF+N-TriplesRDF+N3RDF+XMLReferReference ManagerSimple MetadataXMLopenCostxMetaDissPlus

---