Neural network models for error classification and manufacturing yield forecast

Schels, A., Leim, D. und Lang, Elmar (2002) Neural network models for error classification and manufacturing yield forecast. In: Proc. of Int. Conf. Modelling and Analysis of Semiconductor Manufacturing (MASM), Tempe, Arizona, 2002. , S. 296-301.

Veröffentlichungsdatum dieses Volltextes: 20 Okt 2010 06:13
Buchkapitel

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Beteiligte Einrichtungen

• Biologie und Vorklinische Medizin > Institut für Biophysik und physikalische Biochemie > Prof. Dr. Elmar Lang

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Details

Dokumentenart	Buchkapitel
Buchtitel:	Proc. of Int. Conf. Modelling and Analysis of Semiconductor Manufacturing (MASM), Tempe, Arizona, 2002
Seitenbereich:	S. 296-301
Datum	2002
Institutionen	Biologie und Vorklinische Medizin > Institut für Biophysik und physikalische Biochemie > Prof. Dr. Elmar Lang
Dewey-Dezimal-Klassifikation	500 Naturwissenschaften und Mathematik > 570 Biowissenschaften, Biologie
Status	Veröffentlicht
Begutachtet	Unbekannt / Keine Angabe
An der Universität Regensburg entstanden	Unbekannt / Keine Angabe
Dokumenten-ID	17363

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