PCA and ICA analysis of process control data obtained during si-wafer manufacturing
Ganslmeier, B., Schels, A. und Lang, Elmar W. (2000) PCA and ICA analysis of process control data obtained during si-wafer manufacturing. In: Hamza, M. H., (ed.) Signal processing and communications: proceedings of the IASTED international conference (SPC), September 19 - 22, 2000, Marbella, Spain. IASTED/Acta Press, Anaheim, S. 72-77. ISBN 0-88986-302-4.Veröffentlichungsdatum dieses Volltextes: 20 Okt 2010 06:32
Buchkapitel
Beteiligte Einrichtungen
Details
| Dokumentenart | Buchkapitel |
| ISBN | 0-88986-302-4 |
| Buchtitel: | Signal processing and communications: proceedings of the IASTED international conference (SPC), September 19 - 22, 2000, Marbella, Spain |
|---|---|
| Verlag: | IASTED/Acta Press |
| Ort der Veröffentlichung: | Anaheim |
| Seitenbereich: | S. 72-77 |
| Datum | 2000 |
| Zusätzliche Informationen (Öffentlich) | Tagungsort auf Titelblatt irrtümlich als "Marabella" angegeben |
| Institutionen | Biologie und Vorklinische Medizin > Institut für Biophysik und physikalische Biochemie > Prof. Dr. Elmar Lang |
| Dewey-Dezimal-Klassifikation | 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 570 Biowissenschaften, Biologie |
| Status | Veröffentlicht |
| Begutachtet | Unbekannt / Keine Angabe |
| An der Universität Regensburg entstanden | Unbekannt / Keine Angabe |
| Dokumenten-ID | 17373 |
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