Microscale material characterization and viscoelastic modeling of organic dielectic thin film in eWLB package
Unterhofer, Katrin, Preu, Harald, Walter, Jürgen und Döpke, Holger (2016) Microscale material characterization and viscoelastic modeling of organic dielectic thin film in eWLB package. Microsystem Technologies 22 (4), S. 801-810.Veröffentlichungsdatum dieses Volltextes: 17 Mrz 2020 11:27
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Beteiligte Einrichtungen
Details
| Dokumentenart | Artikel | ||||
| Titel eines Journals oder einer Zeitschrift | Microsystem Technologies | ||||
| Band: | 22 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| Nummer des Zeitschriftenheftes oder des Kapitels: | 4 | ||||
| Seitenbereich: | S. 801-810 | ||||
| Datum | 2016 | ||||
| Institutionen | Nicht ausgewählt | ||||
| Identifikationsnummer |
| ||||
| Dewey-Dezimal-Klassifikation | Nicht ausgewählt | ||||
| Status | Veröffentlicht | ||||
| Begutachtet | Ja, diese Version wurde begutachtet | ||||
| An der Universität Regensburg entstanden | Ja | ||||
| Dokumenten-ID | 42354 |
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