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Unterhofer, Katrin ; Preu, Harald ; Walter, Jürgen ; Döpke, Holger

Microscale material characterization and viscoelastic modeling of organic dielectic thin film in eWLB package

Artikel

Unterhofer, Katrin, Preu, Harald, Walter, Jürgen und Döpke, Holger (2016) Microscale material characterization and viscoelastic modeling of organic dielectic thin film in eWLB package. Microsystem Technologies 22 (4), S. 801-810.



Beteiligte Einrichtungen


    Details

    DokumentenartArtikel
    Titel eines Journals oder einer ZeitschriftMicrosystem Technologies
    Band22
    Nummer des Zeitschriftenheftes oder des Kapitels4
    SeitenbereichS. 801-810
    Datum2016
    Veröffentlichungsdatum17 Mrz 2020 11:27
    InstitutionenNicht ausgewählt
    Identifikationsnummer
    WertTyp
    10.1007/s00542-015-2430-xDOI
    Dewey-Dezimal-KlassifikationNicht ausgewählt
    StatusVeröffentlicht
    BegutachtetJa, diese Version wurde begutachtet
    An der Universität Regensburg entstandenJa
    Dokumenten-ID42354

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