Defect generation by nitrogen during pulsed sputter deposition of GaN
Steib, Frederik, Remmele, Thilo, Gülink, Jan, Fündling, Sönke, Behres, Alexander, Wehmann, Hergo-Heinrich, Albrecht, Martin, Straßburg, Martin, Lugauer, Hans-Jürgen und Waag, Andreas (2018) Defect generation by nitrogen during pulsed sputter deposition of GaN. Journal of Applied Physics 124 (17), S. 175701.Veröffentlichungsdatum dieses Volltextes: 28 Jul 2021 16:58
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Beteiligte Einrichtungen
Details
| Dokumentenart | Artikel | ||||
| Titel eines Journals oder einer Zeitschrift | Journal of Applied Physics | ||||
| Band: | 124 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| Nummer des Zeitschriftenheftes oder des Kapitels: | 17 | ||||
| Seitenbereich: | S. 175701 | ||||
| Datum | 2018 | ||||
| Institutionen | Nicht ausgewählt | ||||
| Identifikationsnummer |
| ||||
| Dewey-Dezimal-Klassifikation | Nicht ausgewählt | ||||
| Status | Veröffentlicht | ||||
| Begutachtet | Ja, diese Version wurde begutachtet | ||||
| An der Universität Regensburg entstanden | Ja | ||||
| Dokumenten-ID | 46606 |
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