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Steib, Frederik ; Remmele, Thilo ; Gülink, Jan ; Fündling, Sönke ; Behres, Alexander ; Wehmann, Hergo-Heinrich ; Albrecht, Martin ; Straßburg, Martin ; Lugauer, Hans-Jürgen ; Waag, Andreas

Defect generation by nitrogen during pulsed sputter deposition of GaN

Artikel

Steib, Frederik, Remmele, Thilo, Gülink, Jan, Fündling, Sönke, Behres, Alexander, Wehmann, Hergo-Heinrich, Albrecht, Martin, Straßburg, Martin, Lugauer, Hans-Jürgen und Waag, Andreas (2018) Defect generation by nitrogen during pulsed sputter deposition of GaN. Journal of Applied Physics 124 (17), S. 175701.



Beteiligte Einrichtungen


    Details

    DokumentenartArtikel
    Titel eines Journals oder einer ZeitschriftJournal of Applied Physics
    Band124
    Nummer des Zeitschriftenheftes oder des Kapitels17
    SeitenbereichS. 175701
    Datum2018
    Veröffentlichungsdatum28 Jul 2021 16:58
    InstitutionenNicht ausgewählt
    Identifikationsnummer
    WertTyp
    10.1063/1.5037340DOI
    Dewey-Dezimal-KlassifikationNicht ausgewählt
    StatusVeröffentlicht
    BegutachtetJa, diese Version wurde begutachtet
    An der Universität Regensburg entstandenJa
    Dokumenten-ID46606

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