Material contrast studies of conductive thin films on semiconductor substrates using scanning electrochemical microscopy
Hanekamp, Patrick, Raith, Timo, Iffelsberger, Christian, Zankl, Tobias, Robl, Werner und Matysik, Frank-Michael
(2019)
Material contrast studies of conductive thin films on semiconductor substrates using scanning electrochemical microscopy.
Journal of Applied Electrochemistry 49 (5), S. 455-463.
Veröffentlichungsdatum dieses Volltextes: 03 Sep 2021 10:02
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Beteiligte Einrichtungen
Details
| Dokumentenart | Artikel | ||||
| Titel eines Journals oder einer Zeitschrift | Journal of Applied Electrochemistry | ||||
| Verlag: | Springer | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| Ort der Veröffentlichung: | DORDRECHT | ||||
| Band: | 49 | ||||
| Nummer des Zeitschriftenheftes oder des Kapitels: | 5 | ||||
| Seitenbereich: | S. 455-463 | ||||
| Datum | 2019 | ||||
| Institutionen | Chemie und Pharmazie > Institut für Analytische Chemie, Chemo- und Biosensorik Chemie und Pharmazie > Institut für Analytische Chemie, Chemo- und Biosensorik > Instrumentelle Analytik (Prof. Frank-Michael Matysik) | ||||
| Identifikationsnummer |
| ||||
| Stichwörter / Keywords | DIRECT COPPER ELECTRODEPOSITION; LINER MATERIALS; NUCLEATION; DEPOSITION; BARRIERS; GROWTH; LAYERS; TAN; Scanning electrochemical microscopy; Hydrogen evolution reaction; Thin film metals; Substrate generation-tip collection mode | ||||
| Dewey-Dezimal-Klassifikation | 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 540 Chemie | ||||
| Status | Veröffentlicht | ||||
| Begutachtet | Ja, diese Version wurde begutachtet | ||||
| An der Universität Regensburg entstanden | Ja | ||||
| Dokumenten-ID | 48738 |
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