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Petter, K. ; Kipp, T. ; Heitmann, Detlef ; Heyn, Ch. ; Schüller, Christian

Fabrication of large periodic arrays of AlGaAs microdisks by laser-interference lithography and selective etching

Petter, K., Kipp, T., Heitmann, Detlef, Heyn, Ch. und Schüller, Christian (2002) Fabrication of large periodic arrays of AlGaAs microdisks by laser-interference lithography and selective etching. Applied Physics Letters 81 (4; 3 S), S. 592.

Veröffentlichungsdatum dieses Volltextes: 21 Sep 2009 07:18
Artikel
DOI zum Zitieren dieses Dokuments: 10.5283/epub.9497


Zusammenfassung

By laser-interference lithography, reactive-ion etching, and selective wet-chemical etching using a citric acid-based solution, we have fabricated large periodic arrays of AlGaAs microdisks with periods of 4 µm and disk diameters between 1.5 and 2 µm. The arrays are characterized by temperature-dependent photoluminescence spectroscopy. Taking into account the below-threshold absorption of the ...

By laser-interference lithography, reactive-ion etching, and selective wet-chemical etching using a citric acid-based solution, we have fabricated large periodic arrays of AlGaAs microdisks with periods of 4 µm and disk diameters between 1.5 and 2 µm. The arrays are characterized by temperature-dependent photoluminescence spectroscopy. Taking into account the below-threshold absorption of the quantum wells inside the disks, we get disk quality factors close to the theoretical maximum value. We demonstrate that our technique allows one also to produce one-dimensionally or two-dimensionally coupled arrays of microdisks.



Beteiligte Einrichtungen


Details

DokumentenartArtikel
Titel eines Journals oder einer ZeitschriftApplied Physics Letters
Verlag:American Institute of Physics
Band:81
Nummer des Zeitschriftenheftes oder des Kapitels:4; 3 S
Seitenbereich:S. 592
Datum24 Mai 2002
InstitutionenPhysik > Institut für Experimentelle und Angewandte Physik > Lehrstuhl Professor Lupton > Arbeitsgruppe Christian Schüller
Identifikationsnummer
WertTyp
10.1063/1.1495082DOI
Dewey-Dezimal-Klassifikation500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik
StatusVeröffentlicht
BegutachtetUnbekannt / Keine Angabe
An der Universität Regensburg entstandenUnbekannt / Keine Angabe
Dokumenten-ID9497

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