Reale Viellagenschichtsysteme sind in der aktuellen Forschung von sehr großem Interesse, da die physikalischen Eigenschaften solcher Systeme sich durch die Art und Abfolge der verwendeten Materialien steuern lassen. So ist es z.B. möglich, magnetische Anisotropien, den Magnetowiderstand oder auch die kristallographische Struktur durch den Herstellungsprozeß zu beeinflussen. Die so erzeugten Systeme weisen z.T. beträchtlich verbesserte physikalische Eigenschaften auf. Aus diesem Grund sind Viellagensysteme sowohl für die industrielle Anwendung interessant als auch von großem Interesse für die Grundlagenforschung.Die physikalischen Eigenschaften hängen neben den gewählten Substanzen und deren Abfolge im Viellagenschichtsystem kritisch von der Güte der Grenzflächen aneinander angrenzender Einzellagen ab. Lokale Dickenschwankungen von Einzellagen, mikroskopische und mesoskopische Rauhigkeiten der Grenzflächen, Interdiffusionszonen an den Grenzflächen usw. mindern die Güte der Grenzflächen und beeinflussen so die physikalischen Eigenschaften. Es ist daher extrem wichtig, diese Grenzflächeneigenschaften zu kennen und quantitativ erfassen zu können, denn nur dann ist eine mikroskopische Charakterisierung der Viellagenschichtsysteme vollständig und ein Rückschluß auf die Ursachen physikalischer Eigenschaften möglich.
