Feldemissionsrasterelektronenmikroskop mit Ionenstrahlsäule und Elektronenstrahllithographie-Schreibzusatz
Gefördert von:
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG)
Projektnummer: 184671840
Projektnummer: 184671840
Link zum Projekt auf Webseiten des Förderers
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/184671840Dauer
Projektbeginn: 2010Projektende: 2010
Beteiligte Institutionen
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Zusammenfassung
Keine Zusammenfassung vorhanden
Team
Dieter Weiss