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Feldemissionsrasterelektronenmikroskop mit Ionenstrahlsäule und Elektronenstrahllithographie-Schreibzusatz

Gefördert von: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG)

Projektnummer:: 184671840

Link zum Projekt auf Webseiten des Förderers

https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/184671840

Dauer

Projektbeginn: 2010
Projektende: 2010

Beteiligte Institutionen

Institutions Nicht ausgewählt

Zusammenfassung

Team

Publikationen