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Two-dimensional electron-gas actuation and transduction for GaAs nanoelectromechanical systems
Tang, H. X., Huang, M. H., Roukes, M. L., Bichler, Max und Wegscheider, Werner (2002) Two-dimensional electron-gas actuation and transduction for GaAs nanoelectromechanical systems. Applied Physics Letters 81 (20), S. 3879-3881.Veröffentlichungsdatum dieses Volltextes: 07 Dez 2009 13:22
Artikel
DOI zum Zitieren dieses Dokuments: 10.5283/epub.11317
Zusammenfassung
We have fabricated doubly clamped beams from GaAs/AlGaAs quantum-well heterostructures containing a high-mobility two-dimensional electron gas (2DEG). Applying an rf drive to in-plane side gates excites the beam's mechanical resonance through a dipole-dipole mechanism. Sensitive high-frequency displacement transduction is achieved by measuring the ac emf developed across the 2DEG in the presence ...
We have fabricated doubly clamped beams from GaAs/AlGaAs quantum-well heterostructures containing a high-mobility two-dimensional electron gas (2DEG). Applying an rf drive to in-plane side gates excites the beam's mechanical resonance through a dipole-dipole mechanism. Sensitive high-frequency displacement transduction is achieved by measuring the ac emf developed across the 2DEG in the presence of a constant dc sense current. The high mobility of the incorporated 2DEG provides low-noise, low-power, and high-gain electromechanical displacement sensing through combined piezoelectric and piezoresistive mechanisms. (C) 2002 American Institute of Physics.
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Beteiligte Einrichtungen
Details
| Dokumentenart | Artikel | ||||
| Titel eines Journals oder einer Zeitschrift | Applied Physics Letters | ||||
| Verlag: | AMER INST PHYSICS | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| Ort der Veröffentlichung: | MELVILLE | ||||
| Band: | 81 | ||||
| Nummer des Zeitschriftenheftes oder des Kapitels: | 20 | ||||
| Seitenbereich: | S. 3879-3881 | ||||
| Datum | 11 November 2002 | ||||
| Institutionen | Physik > Institut für Experimentelle und Angewandte Physik > Entpflichtete oder im Ruhestand befindliche Professoren > Arbeitsgruppe Werner Wegscheider | ||||
| Identifikationsnummer |
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| Verwandte URLs |
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| Klassifikation |
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| Stichwörter / Keywords | WIRES; | ||||
| Dewey-Dezimal-Klassifikation | 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik | ||||
| Status | Veröffentlicht | ||||
| Begutachtet | Unbekannt / Keine Angabe | ||||
| An der Universität Regensburg entstanden | Unbekannt / Keine Angabe | ||||
| Dokumenten-ID | 11317 |
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