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Tang, H. X. ; Huang, M. H. ; Roukes, M. L. ; Bichler, Max ; Wegscheider, Werner

Two-dimensional electron-gas actuation and transduction for GaAs nanoelectromechanical systems

Tang, H. X., Huang, M. H., Roukes, M. L., Bichler, Max und Wegscheider, Werner (2002) Two-dimensional electron-gas actuation and transduction for GaAs nanoelectromechanical systems. Applied Physics Letters 81 (20), S. 3879-3881.

Veröffentlichungsdatum dieses Volltextes: 07 Dez 2009 13:22
Artikel
DOI zum Zitieren dieses Dokuments: 10.5283/epub.11317


Zusammenfassung

We have fabricated doubly clamped beams from GaAs/AlGaAs quantum-well heterostructures containing a high-mobility two-dimensional electron gas (2DEG). Applying an rf drive to in-plane side gates excites the beam's mechanical resonance through a dipole-dipole mechanism. Sensitive high-frequency displacement transduction is achieved by measuring the ac emf developed across the 2DEG in the presence ...

We have fabricated doubly clamped beams from GaAs/AlGaAs quantum-well heterostructures containing a high-mobility two-dimensional electron gas (2DEG). Applying an rf drive to in-plane side gates excites the beam's mechanical resonance through a dipole-dipole mechanism. Sensitive high-frequency displacement transduction is achieved by measuring the ac emf developed across the 2DEG in the presence of a constant dc sense current. The high mobility of the incorporated 2DEG provides low-noise, low-power, and high-gain electromechanical displacement sensing through combined piezoelectric and piezoresistive mechanisms. (C) 2002 American Institute of Physics.



Beteiligte Einrichtungen


Details

DokumentenartArtikel
Titel eines Journals oder einer ZeitschriftApplied Physics Letters
Verlag:AMER INST PHYSICS
Ort der Veröffentlichung:MELVILLE
Band:81
Nummer des Zeitschriftenheftes oder des Kapitels:20
Seitenbereich:S. 3879-3881
Datum11 November 2002
InstitutionenPhysik > Institut für Experimentelle und Angewandte Physik > Entpflichtete oder im Ruhestand befindliche Professoren > Arbeitsgruppe Werner Wegscheider
Identifikationsnummer
WertTyp
10.1063/1.1516237DOI
Verwandte URLs
URLURL Typ
http://link.aip.org/link/?APPLAB/81/3879/1Verlag
Klassifikation
NotationArt
07.10.Cm; 85.35.-p; 73.61.Ey; 73.50.Dn; 73.50.GrPACS
Stichwörter / KeywordsWIRES;
Dewey-Dezimal-Klassifikation500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik
StatusVeröffentlicht
BegutachtetUnbekannt / Keine Angabe
An der Universität Regensburg entstandenUnbekannt / Keine Angabe
Dokumenten-ID11317

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