Direkt zum Inhalt

Tang, H. X. ; Huang, M. H. ; Roukes, M. L. ; Bichler, Max ; Wegscheider, Werner

Two-dimensional electron-gas actuation and transduction for GaAs nanoelectromechanical systems

Artikel

Tang, H. X., Huang, M. H., Roukes, M. L., Bichler, Max und Wegscheider, Werner (2002) Two-dimensional electron-gas actuation and transduction for GaAs nanoelectromechanical systems. Applied Physics Letters 81 (20), S. 3879-3881.

DOI zum Zitieren dieses Dokuments: 10.5283/epub.11317


Zusammenfassung

We have fabricated doubly clamped beams from GaAs/AlGaAs quantum-well heterostructures containing a high-mobility two-dimensional electron gas (2DEG). Applying an rf drive to in-plane side gates excites the beam's mechanical resonance through a dipole-dipole mechanism. Sensitive high-frequency displacement transduction is achieved by measuring the ac emf developed across the 2DEG in the presence ...

We have fabricated doubly clamped beams from GaAs/AlGaAs quantum-well heterostructures containing a high-mobility two-dimensional electron gas (2DEG). Applying an rf drive to in-plane side gates excites the beam's mechanical resonance through a dipole-dipole mechanism. Sensitive high-frequency displacement transduction is achieved by measuring the ac emf developed across the 2DEG in the presence of a constant dc sense current. The high mobility of the incorporated 2DEG provides low-noise, low-power, and high-gain electromechanical displacement sensing through combined piezoelectric and piezoresistive mechanisms. (C) 2002 American Institute of Physics.



Beteiligte Einrichtungen


Details

DokumentenartArtikel
Titel eines Journals oder einer ZeitschriftApplied Physics Letters
VerlagAMER INST PHYSICS
Ort der VeröffentlichungMELVILLE
Band81
Nummer des Zeitschriftenheftes oder des Kapitels20
SeitenbereichS. 3879-3881
Datum11 November 2002
Veröffentlichungsdatum07 Dez 2009 13:22
InstitutionenPhysik > Institut für Experimentelle und Angewandte Physik > Entpflichtete oder im Ruhestand befindliche Professoren > Arbeitsgruppe Werner Wegscheider
Identifikationsnummer
WertTyp
10.1063/1.1516237DOI
Verwandte URLs
URLURL Typ
http://link.aip.org/link/?APPLAB/81/3879/1Verlag
Klassifikation
NotationArt
07.10.Cm; 85.35.-p; 73.61.Ey; 73.50.Dn; 73.50.GrPACS
Stichwörter / KeywordsWIRES;
Dewey-Dezimal-Klassifikation500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik
StatusVeröffentlicht
BegutachtetUnbekannt / Keine Angabe
An der Universität Regensburg entstandenUnbekannt / Keine Angabe
Dokumenten-ID11317

Bibliographische Daten exportieren

Nur für Besitzer und Autoren: Kontrollseite des Eintrags

nach oben