Direkt zum Inhalt

Rogge, M. C. ; Fühner, C. ; Keyser, U. F. ; Bichler, Max ; Abstreiter, Gerhard ; Wegscheider, Werner ; Haug, R. J.

Fabrication of double quantum dots by combining afm and e-beam lithography

Rogge, M. C., Fühner, C., Keyser, U. F., Bichler, Max, Abstreiter, Gerhard, Wegscheider, Werner und Haug, R. J. (2004) Fabrication of double quantum dots by combining afm and e-beam lithography. Physica E Low-dimensional Systems and Nanostructures 21 (2-4), S. 483-486.

Veröffentlichungsdatum dieses Volltextes: 11 Jan 2010 13:31
Artikel
DOI zum Zitieren dieses Dokuments: 10.5283/epub.11955


Zusammenfassung

In recent years several attempts have been made to fabricate coupled quantum dots as a crucial element of quantum computing devices. One important challenge is to achieve a reliable control of the interdot tunneling. For this purpose we have combined direct nanolithography by local anodic oxidation (LAO) with standard electron-beam lithography. LAO is used to produce parallel double quantum dots. ...

In recent years several attempts have been made to fabricate coupled quantum dots as a crucial element of quantum computing devices. One important challenge is to achieve a reliable control of the interdot tunneling. For this purpose we have combined direct nanolithography by local anodic oxidation (LAO) with standard electron-beam lithography. LAO is used to produce parallel double quantum dots. Additional metallic split gates are responsible for the control of the interdot coupling. We describe our fabrication scheme and demonstrate the function in low-temperature transport measurements.



Beteiligte Einrichtungen


Details

DokumentenartArtikel
Titel eines Journals oder einer ZeitschriftPhysica E Low-dimensional Systems and Nanostructures
Verlag:Elsevier
Band:21
Nummer des Zeitschriftenheftes oder des Kapitels:2-4
Seitenbereich:S. 483-486
DatumMärz 2004
InstitutionenPhysik > Institut für Experimentelle und Angewandte Physik > Entpflichtete oder im Ruhestand befindliche Professoren > Arbeitsgruppe Werner Wegscheider
Identifikationsnummer
WertTyp
10.1016/j.physe.2003.11.054DOI
Klassifikation
NotationArt
73.21.La; 73.23.Hk; 73.40.GkPACS
Dewey-Dezimal-Klassifikation500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik
StatusVeröffentlicht
BegutachtetUnbekannt / Keine Angabe
An der Universität Regensburg entstandenUnbekannt / Keine Angabe
Dokumenten-ID11955

Bibliographische Daten exportieren

Nur für Besitzer und Autoren: Kontrollseite des Eintrags

nach oben