| Dokumentenart: | Buchkapitel |
|---|---|
| Buchtitel: | Proc. of Int. Conf. Modelling and Analysis of Semiconductor Manufacturing (MASM), Tempe, Arizona, 2002 |
| Seitenbereich: | S. 296-301 |
| Datum: | 2002 |
| Institutionen: | Biologie und Vorklinische Medizin > Institut für Biophysik und physikalische Biochemie > Prof. Dr. Elmar Lang |
| Dewey-Dezimal-Klassifikation: | 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 570 Biowissenschaften, Biologie |
| Status: | Veröffentlicht |
| Begutachtet: | Unbekannt / Keine Angabe |
| An der Universität Regensburg entstanden: | Unbekannt / Keine Angabe |
| Dokumenten-ID: | 17363 |
Metadaten zuletzt geändert: 24 Mai 2018 12:17
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