| Dokumentenart: | Artikel | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| Titel eines Journals oder einer Zeitschrift: | Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena | ||||
| Band: | 34 | ||||
| Nummer des Zeitschriftenheftes oder des Kapitels: | 2 | ||||
| Seitenbereich: | 02G107 | ||||
| Datum: | 2016 | ||||
| Institutionen: | Nicht ausgewählt | ||||
| Identifikationsnummer: |
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| Dewey-Dezimal-Klassifikation: | Nicht ausgewählt | ||||
| Status: | Veröffentlicht | ||||
| Begutachtet: | Ja, diese Version wurde begutachtet | ||||
| An der Universität Regensburg entstanden: | Ja | ||||
| Dokumenten-ID: | 41827 |
Metadaten zuletzt geändert: 29 Sep 2021 07:41
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