Filtered pulsed carbon cathodic arc: Plasma and amorphous carbon properties
Artikel
Liu, Dongping, Benstetter, Günther, Lodermeier, Edgar, Zhang, Jialiang, Liu, Yanhong und Vancea, Johann (2004) Filtered pulsed carbon cathodic arc: Plasma and amorphous carbon properties. Journal of Applied Physics 95 (12), S. 7624-7631.Alternative Links zum Volltext
Beteiligte Einrichtungen
Details
| Dokumentenart | Artikel | ||||
| Titel eines Journals oder einer Zeitschrift | Journal of Applied Physics | ||||
| Verlag | AMER INST PHYSICS | ||||
| Ort der Veröffentlichung | MELVILLE | ||||
| Band | 95 | ||||
| Nummer des Zeitschriftenheftes oder des Kapitels | 12 | ||||
| Seitenbereich | S. 7624-7631 | ||||
| Datum | 2004 | ||||
| Veröffentlichungsdatum | 19 Dez 2024 15:14 | ||||
| Institutionen | Physik > Institut für Experimentelle und Angewandte Physik | ||||
| Identifikationsnummer |
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| Stichwörter / Keywords | DIAMOND-LIKE-CARBON; ATOMIC-FORCE MICROSCOPY; VACUUM-ARC; DISCHARGE METHOD; ION-BOMBARDMENT; THIN-FILMS; DEPOSITION; COATINGS; ENERGY; BEAMS; | ||||
| Dewey-Dezimal-Klassifikation | 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik | ||||
| Status | Veröffentlicht | ||||
| Begutachtet | Ja, diese Version wurde begutachtet | ||||
| An der Universität Regensburg entstanden | Ja | ||||
| Dokumenten-ID | 71503 |
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