Influence of the incident angle of energetic carbon ions on the properties of tetrahedral amorphous carbon (ta-C) films
Liu, Dongping, Benstetter, Günther, Lodermeier, Edgar und Vancea, Johann (2003) Influence of the incident angle of energetic carbon ions on the properties of tetrahedral amorphous carbon (ta-C) films. Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 21 (5), S. 1665-1670.Veröffentlichungsdatum dieses Volltextes: 19 Dez 2024 15:26
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Details
| Dokumentenart | Artikel | ||||
| Titel eines Journals oder einer Zeitschrift | Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films | ||||
| Verlag: | A V S AMER INST PHYSICS | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| Ort der Veröffentlichung: | MELVILLE | ||||
| Band: | 21 | ||||
| Nummer des Zeitschriftenheftes oder des Kapitels: | 5 | ||||
| Seitenbereich: | S. 1665-1670 | ||||
| Datum | 2003 | ||||
| Institutionen | Physik > Institut für Experimentelle und Angewandte Physik | ||||
| Identifikationsnummer |
| ||||
| Stichwörter / Keywords | DIAMOND-LIKE-CARBON; DEPOSITION; FORCE; MICROSCOPE; WEAR; | ||||
| Dewey-Dezimal-Klassifikation | 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik | ||||
| Status | Veröffentlicht | ||||
| Begutachtet | Ja, diese Version wurde begutachtet | ||||
| An der Universität Regensburg entstanden | Ja | ||||
| Dokumenten-ID | 72099 |
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