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Hoelzl, R. ; Huber, D. ; Range, K. -J. ; Fabry, L. ; Hage, J. ; Wahlich, R.

Gettering of Copper and Nickel in p/p+ Epitaxial Wafers

Hoelzl, R., Huber, D., Range, K. -J., Fabry, L., Hage, J. und Wahlich, R. (2000) Gettering of Copper and Nickel in p/p+ Epitaxial Wafers. Journal of The Electrochemical Society 147 (7), S. 2704.

Veröffentlichungsdatum dieses Volltextes: 19 Dez 2024 15:57
Artikel



Beteiligte Einrichtungen


Details

DokumentenartArtikel
Titel eines Journals oder einer ZeitschriftJournal of The Electrochemical Society
Verlag:ELECTROCHEMICAL SOC INC
Ort der Veröffentlichung:PENNINGTON
Band:147
Nummer des Zeitschriftenheftes oder des Kapitels:7
Seitenbereich:S. 2704
Datum2000
InstitutionenChemie und Pharmazie > Institut für Anorganische Chemie > Entpflichtete oder im Ruhestand befindliche Professoren > Prof. Dr. Klaus-Jürgen Range
Identifikationsnummer
WertTyp
10.1149/1.1393593DOI
Stichwörter / KeywordsTRANSIENT ION-DRIFT; DIFFUSION-COEFFICIENT; MASS-SPECTROMETRY; SILICON-WAFERS; SOLUBILITY; CU; CONTAMINATION; NANOCAVITIES; NI;
Dewey-Dezimal-Klassifikation500 Naturwissenschaften und Mathematik > 540 Chemie
StatusVeröffentlicht
BegutachtetJa, diese Version wurde begutachtet
An der Universität Regensburg entstandenJa
Dokumenten-ID74198

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