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Prüßing, Jan K., Böckendorf, Tim, Kipke, Felix, Xu, Jiushuai, Puranto, Prabowo, Lundsgaard Hansen, John, Bougeard, Dominique, Peiner, Erwin und Bracht, Hartmut
(2022)
Retarded boron and phosphorus diffusion in silicon nanopillars due to stress induced vacancy injection.
Journal of Applied Physics 131 (7).
Volltext nicht vorhanden.