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Giessibl, Franz J.

Atomic force microscopy with qPlus sensors

Giessibl, Franz J. (2024) Atomic force microscopy with qPlus sensors. MRS Bulletin 49, S. 492-502.

Veröffentlichungsdatum dieses Volltextes: 05 Mrz 2024 06:42
Artikel
DOI zum Zitieren dieses Dokuments: 10.5283/epub.57842


Zusammenfassung

Atomic force microscopy is one of the most important tools in nanoscience. It employs an atomic probe that can resolve surfaces with atomic and subatomic spatial resolution and manipulate atoms. The qPlus sensor is a quartz-based self-sensing cantilever with a high stiffness that, in contrast to Si cantilevers, allows to oscillate at atomic radius amplitudes in the proximity of reactive surfaces ...

Atomic force microscopy is one of the most important tools in nanoscience. It employs an atomic probe that can resolve surfaces with atomic and subatomic spatial resolution and manipulate atoms. The qPlus sensor is a quartz-based self-sensing cantilever with a high stiffness that, in contrast to Si cantilevers, allows to oscillate at atomic radius amplitudes in the proximity of reactive surfaces and thus provides a high spatial resolution. This article reports on the development of this sensor and discusses applications in materials research.



Beteiligte Einrichtungen


Details

DokumentenartArtikel
Titel eines Journals oder einer ZeitschriftMRS Bulletin
Verlag:Springer Nature
Band:49
Seitenbereich:S. 492-502
Datum1 März 2024
InstitutionenPhysik > Institut für Experimentelle und Angewandte Physik > Lehrstuhl Professor Giessibl > Arbeitsgruppe Franz J. Giessibl
Projekte
Gefördert von: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) (89249669)
Gefördert von: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) (314695032)
Gefördert von: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) (14086190)
Identifikationsnummer
WertTyp
10.1557/s43577-023-00654-wDOI
Stichwörter / KeywordsCrystallographic structure, Microelectromechanical systems (MEMS), Quantum effects, Scanning probe microscopy (SPM), Sensor, Surface chemistry
Dewey-Dezimal-Klassifikation500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik
StatusVeröffentlicht
BegutachtetJa, diese Version wurde begutachtet
An der Universität Regensburg entstandenJa
URN der UB Regensburgurn:nbn:de:bvb:355-epub-578421
Dokumenten-ID57842

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