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Hembacher, Stefan ; Giessibl, Franz J. ; Mannhart, Jochen

Evaluation of a force sensor based on a quartz tuning fork for operation at low temperatures and ultrahigh vacuum

Hembacher, Stefan, Giessibl, Franz J. und Mannhart, Jochen (2002) Evaluation of a force sensor based on a quartz tuning fork for operation at low temperatures and ultrahigh vacuum. Applied Surface Science 188 (3-4), S. 445-449.

Veröffentlichungsdatum dieses Volltextes: 13 Jul 2012 08:19
Artikel
DOI zum Zitieren dieses Dokuments: 10.5283/epub.25340


Zusammenfassung

The noise performance of the force sensor is crucial for optimizing the resolution in non-contact atomic force microscopy. Sensing forces in vacuum and low temperatures is even more demanding than at ambient conditions. Here we analyze the noise performance and the sensitivity of a force sensor based on a quartz tuning fork of which one of the prongs is fixed (qPlus sensor). The noise ...

The noise performance of the force sensor is crucial for optimizing the resolution in non-contact atomic force microscopy. Sensing forces in vacuum and low temperatures is even more demanding than at ambient conditions. Here we analyze the noise performance and the sensitivity of a force sensor based on a quartz tuning fork of which one of the prongs is fixed (qPlus sensor). The noise characteristic of the qPlus sensor, optical and piezoresistive detection schemes at room temperature are compared and the qPlus sensor is investigated at low temperatures. The frequency variation of quartz tuning forks as a function of temperature is experimentally determined for the temperature range from 4 to 300 K.



Beteiligte Einrichtungen


Details

DokumentenartArtikel
Titel eines Journals oder einer ZeitschriftApplied Surface Science
Verlag:Elsevier
Band:188
Nummer des Zeitschriftenheftes oder des Kapitels:3-4
Seitenbereich:S. 445-449
Datum28 März 2002
InstitutionenPhysik > Institut für Experimentelle und Angewandte Physik > Lehrstuhl Professor Giessibl > Arbeitsgruppe Franz J. Giessibl
Identifikationsnummer
WertTyp
10.1016/S0169-4332(01)00976-XDOI
Stichwörter / KeywordsNon-contact AFM; Low temperatures; qPlus sensor
Dewey-Dezimal-Klassifikation500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik
StatusVeröffentlicht
BegutachtetUnbekannt / Keine Angabe
An der Universität Regensburg entstandenUnbekannt / Keine Angabe
URN der UB Regensburgurn:nbn:de:bvb:355-epub-253402
Dokumenten-ID25340

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